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化學品供應系統概述

   隨著半導體,平板顯示,發光二極管,光伏,光纖等各高科技行業的快速發展,超高純化學品供應系統的需求量與日俱增,超高純化學品系統在半導體中的作用有:清洗芯片上的雜質,微粒子;刻蝕芯片圖案;顯影芯片圖案,化學氣相沉積前置反應物;研磨芯片;清洗制程設備零配件等。

        我們為客戶提供安全可靠的化學品輸送系統,自動化程度高。當工藝設備需要供液時給出Demand信號,自動供液系統接收到需液信號控制程序自動打開泵電磁閥、氣動閥電磁閥,化學品通過泵輸送出去,經過過濾裝置,將化學品供應到VMB分支閥箱,再到工藝設備。當工藝設備達到FULL狀態需液信息關閉,供液系統停止供應。系統可以自動檢測和收集動力系統、輸送流量和壓力、泄漏檢測等數據和信息。當系統檢測到泄漏可以自行切斷供應并發出警報,以保證人身安全。
 

  我們擁有將先進制造業工藝制程中需求的各種介質,從源頭安全穩定的滿足工藝要求的供應至工藝制程仍保持質量合格的關鍵技術,對高純工藝介質不產生二次污染。

 

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